Компания яңалыклары
Безнең компания рулоннан рулонга магнетрон сиптерү тибындагы вакуум металлизаторын эшләде
Рулоннан рулонга магнетрон сиптерү тибындагы вакуум металллаштыру машинасының эш принцибы нинди?
Магнетрон сиптерү тибындагы вакуум металлизацияләү машиналары электр кырлары, магнит кырлары һәм ионлаштырылган газ кисәкчәләре арасындагы үзара бәйләнешкә таянып, материалны каты максаттан (каплау чыганагы) субстратка бомбага тота.
Вакуум камерасы югары вакуум мохитенә күчерелгәндә, камерага инерт газ, гадәттә аргон (Ar) кертелә. Катод максаты (чыгымланачак материал) һәм анод арасына югары көчәнешле даими ток чыганагы куела. Көчәнеш аргон атомнарын ионлаштыра, электроннарны аерып, уңай зарядлы аргон ионнары (Ar⁺) һәм ирекле электроннар плазмасын барлыкка китерә.
Плазмадагы аргон ионнары (Ar⁺) электр кыры белән тискәре зарядлы максатка таба тизләтелә. Ионнар максат белән бәрелешкәндә, алар импульсны аның атомнарына күчерәләр һәм аларны пар фазасына чыгаралар. Аннары бу чыгарылган максат атомнары субстрат өстендә хәрәкәтләнә һәм конденсацияләнә, бердәм, тыгыз һәм ябышучы юка пленка барлыкка китерә.
Магнетрон сиптерүнең төп үзенчәлеге - максат артында урнашкан магнитлар тарафыннан барлыкка китерелгән магнит кырын куллануда. Бу магнит кыры электроннарны максат өслеге янында тота, аларны спираль юллар буйлап барырга мәҗбүр итә. Бу чикләү электрон-ион бәрелешү ихтималын арттыра, плазма тыгызлыгын һәм ионлашу нәтиҗәлелеген арттыра. Нәтиҗәдә, ионнар агымы максатка югарырак бәрелә, бу гадәти сиптерү ысуллары белән чагыштырганда сиптерү тизлеген сизелерлек арттыра.
Магнетрон сиптерүнең өстенлекләре нинди?
Югары сыйфатлы фильмнар: Югары утыру тизлеге аркасында тыгыз, аз кимчелекле, бер төрле пленкалар җитештерә, бик яхшы ябышуга ия.
Материалның күпкырлылыгы: Металлар, эретмәләр, керамика белән туры килә.